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| パルス印加 |
VOH(+側電圧) |
0〜+100V |
| VOL(−側電圧) |
−100〜0V |
| VOH、VOL設定分解能 |
0.1V |
| VOH、VOL設定精度 |
3%/FS(基板出力端) |
| 最大繰り返し周波数 |
25KHz(VH=VL=20μs、2値設定) |
| 繰り返し周波数設定精度 |
0.1%設定 |
| 最小設定パルス幅 |
20μ/Sec |
| 最大設定パルス幅 |
1Sec |
| パルス幅設定ステップ |
10μSec |
| パルス幅設定精度 |
1%Seting±1μSec |
ダイナミック
クランプ |
設定範囲(50V以上) |
90〜50%(10%ステップ) |
| 設定範囲(50V未満) |
設定値−5V 固定 |
| DC印加 |
最大電圧 |
100V |
| 最小電圧 |
−100V |
| 電圧設定分解能 |
0.1V |
| 電圧設定精度 |
3%/FS |
| DC測定 |
測定レンジ |
320μA、3.2μA |
| 分解能 |
10nA、100pA |
| 測定電流極性 |
プラス、マイナス |
| 測定精度 |
0.3%/FS |
| 共通 |
連続出力電流 |
0.8mA |
| 最大負荷容量 |
300pF |
| ケーブル |
2m(低ノイズケーブル) |
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