| 印加仕様 |
測定周波数 |
20〜1MHz |
| 測定信号レベル |
ノーマル ：5m〜2V、50μ〜20mA
コンタクト：10m〜1V、100μ〜20mA |
| バイアス電圧 |
1.5V又は2V、外部電源増設可 |
| 測定仕様 |
|Ｚ| インピーダンス |
0.01m〜99.9999MΩ |
| C 静電容量 |
0.01f〜9.99999f |
| D 誘電正接 |
0.000001〜9.999999 |
| 測定点数 |
20ch |
※Q値測定はオプションで対応
※以上はAgilent Technologies社製のHP4284Aなどを搭載する。
同上用低温恒温槽（FL712PH）
| 温度範囲 |
−70℃〜＋150℃（＋180℃はオプション対応） |
| 温度分布性能 |
±1.5℃以内 |
| 試験室寸法 |
W500×H750×D600mm |
| 測定供試品固定ラック |
Max.40ch |
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