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TDDB 酸化膜信頼性評価システム
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 296kb |
| 方式 |
パーピン対応方式（1ch 1SMU方式）、JESD35準拠 |
| 測定方式 |
定電圧ストレス、定電流ストレス、定電圧ステップストレス、定電流ステップストレス、
電圧ランプ、I-V特性対応FET測定（オプション） |
| 印加部 |
電圧範囲：500μV〜150V
電流範囲：100pA〜20mA |
| 測定部 |
電圧範囲：500μV〜150V
電流範囲：10pA〜20mA |
| TEG数 |
16ch／SMUボード、最大320ch |
※パッケージ対応のモデルもご用意しています。お問い合わせください。
※TDDB: Time-Dependent Dielectric Breakdown（酸化膜経時破壊）
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